型号 | PM-200LN | PR-200LN | |
控制系统 | 控制方式 | 全自动控制（自动/手动切换） | |
PLC（标配）/PC（可选） | |||
操作系统 | Windows 10 | ||
触摸屏 | 7寸 | ||
整机规格 | 尺寸 | W1000×D1200×H1700mm | |
腔体 | 尺寸 | W500×D500×H450mm | |
材质 | 铝合金（标配）/不锈钢（可选） | ||
电极 | 尺寸 | W490×D417mm | |
层数 | 1-8层，可选 | ||
托架 | 材质 | 铝合金（标配）/不锈钢（可选） | |
层数 | 1层 | ||
真空计 | 皮拉尼式真空计 | 1个 | |
流量计 | MFC质量流量控制器 | 2个；Ar、N2、O2（可选） | |
真空泵 | 机械油式旋片泵 | 1套 | |
发生器 | 中频/射频 | 40KHz，0~1000W | 13.56MHz，0~1000W |
额定功率 | 整机峰值功率 | 5KW | |
机台供电 | 三相五线式 | AC-380V | |
选购品 | 干式泵、气浴电极（打孔）、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件 | ||
Features
❖ Operation interface of touch screen
❖ Real-time display of digital and icon multiple process parameters
❖ Abnormal alarm function of tri-color light
❖ Automatic/manual operation mode switching
❖ Capable of storing multiple sets of process formulas
❖ Remote control, data export (optional)
❖ Special electrode and gas circuit design, good uniformity
❖ Flat plate type and roller type vehicle platform (optional)
❖ Suitable for batch processing of semiconductor packaging lead frame
